当前位置: 首页 » 会员新闻 » 会员新闻 » 我国首条石英玻璃基板成套出产线建成 发布日期：2016-06-06 10:33 阅读次数：373 近日从中国建筑材料科学研究总院得悉，基在光刻用石英玻璃基板（以下简称石英玻璃基板）绿色制造手艺，建材总院石英院在衢州成立了国内首条从基板原材料制造到产物加工的成套出产线，该出产线可年产20000片4-6英寸石英玻璃基板，打破了石英玻璃基板原材料和产物持久依靠进口的场合排场。 该出产线的成立，是建材总院承当的 十二五 国度科技支持打算 高机能石英玻璃、微晶玻璃等特种材料要害手艺研发和示范 课题的功效之一。 石英玻璃基板是集成电路芯片制造工艺中的焦点器件，市场需求量庞大。作为石英玻璃基板的原材料，合成石英玻璃具有热不变性好、光学平均性高、耐辐照等诸多长处。但是，受原材料纯度、平均性和加工精度、硬脆特征等制约，我国石英玻璃基板持久依靠进口。 作为我国独一专业从事石英玻璃研究的科研院所，建材总院石英院科研人员经不懈尽力，构成一套合适我国行业近况与成长趋向的独有工艺线路，不单解决了石英玻璃基板原材料的纯度、平均性困难，同时实现了原材料绿色制造；引入多美金切割、平安快速磨抛工艺，缔造性地开辟了熔拉制坯、数控倒角等手艺，解决了石英玻璃基板加工精度的困难。从基板贝搏平台原材料制造到产物加工，该院构成专利20余项，行业尺度、国军标和国度尺度10余项，开辟出了多种规格的石英玻璃基板、晶圆、透镜等系列产物，不但慢慢替换进口，并且出口欧洲、日本等国。