当前位置: 首页 » 会员新闻 » 会员新闻 » 首条光刻石英玻璃基板成套出产线建成 发布日期：2016-06-13 10:07 阅读次数：327 近日，中国建材总院石英院基在光刻用石英玻璃基板绿色制造手艺，在衢州成立了国内首条从基板原材料制造到产物加工的成套出产线。该出产线可年产20000片4-6英寸石英玻璃基板，打破了石英玻璃基板原材料和产物持久依靠进口的场合排场。 该出产线的成立，是中国建材总院承当的 十二五 国度科技支持打算 高机能石英玻璃、微晶玻璃等特种材料要害手艺研发和示范 课题的功效之一。石英玻璃基板是集成电路芯片制造工艺中的焦点器件，市场需求量庞大。作为石英玻璃基板的原材料，合成石英玻璃具有热不变性好、光学平均性高、耐辐照等诸多长处。但是，受原材料纯度、平均性和贝搏平台加工精度、硬脆特征等制约，我国石英玻璃基板持久依靠进口。 作为我国独一专业从事石英玻璃研究的科研院所，中国建材总院石英院依托浙江衢州高新园区的化工资本，构成了轮回经济财产链，成立了高机能石英玻璃研发基地，并成立中建材衢州金格兰石英有限公司。经科研人员不懈尽力，构成一套合适我国行业近况与成长趋向的独有工艺线路，不单解决了石英玻璃基板原材料的纯度、平均性困难，同时实现了原材料绿色制造。石英院还引入多美金切割、平安快速磨抛工艺，缔造性地开辟了熔拉制坯、数控倒角等手艺，解决了石英玻璃基板加工精度的困难。从基板原材料制造到产物加工，石英院构成专利20余项，行业尺度、国军标和国度尺度10余项，开辟出了多种规格的石英玻璃基板、晶圆、透镜等系列产物，不但慢慢替换进口，实现了集成电路等用高机能石英玻璃要害材料和成品的国产化，并且出口欧洲、日本等国。